Spektroskopinė elipsometrija
Spektroskopinė elipsometrija – tai itin tikslus ir nedestruktyvus optinis analizės metodas, skirtas plonų sluoksnių storiui, optinėms konstantoms bei medžiagų optinėms savybėms nustatyti. Analizės metu matuojami poliarizuotos šviesos pokyčiai, atsirandantys šviesai atsispindėjus nuo mėginio paviršiaus, todėl galima itin tiksliai įvertinti dangų, plėvelių ir daugiasluoksnių struktūrų parametrus.
Ši technologija plačiai naudojama puslaidininkių, fotovoltikos, optikos, ekranų technologijų, nanotechnologijų bei pažangių medžiagų tyrimuose. Spektroskopinė elipsometrija leidžia atlikti matavimus be tiesioginio kontakto su mėginiu, užtikrinant aukštą tikslumą ir minimalų poveikį tiriamai medžiagai.



